Vorteile kapazitiver keramischer Drucksensoren für Vakuummessgeräte

Vakuummessgeräte sind wichtige Instrumente zur Messung und Überwachung des Vakuumniveaus. Kapazitive keramische Drucksensoren haben sich in dieser Anwendung als passende Lösung etabliert.

Vakuummessgeräte sind wichtige Instrumente zur Messung und Überwachung des Vakuumniveaus in verschiedenen Branchen. In der Halbleiterfertigung werden Vakuummessgeräte häufig zur Überwachung und Steuerung des Vakuums eingesetzt. Die Genauigkeit und Zuverlässigkeit von Vakuummessungen sind entscheidend für die Qualität und Leistung von Produkten und Prozessen, wie dem Ätzen und der Abscheidung. Kapazitive keramische Drucksensoren haben sich aufgrund ihrer einzigartigen Vorteile in Bezug auf Präzision, Langzeitstabilität und chemischer Beständigkeit als bevorzugte Wahl für die Herstellung von Vakuummessgeräten erwiesen. 

Die Herausforderungen:

• Anforderungen an Präzision und Genauigkeit: Halbleiterfertigungsprozesse erfordern eine sehr hohe Präzision und Genauigkeit bei Vakuummessungen. Schon geringe Druckabweichungen können zu Defekten bei der Waferherstellung führen, wie z. B. ungleichmäßiges Ätzen oder die unregelmäßige Abscheidung. Vakuummessgeräte müssen mit hoher Empfindlichkeit und Stabilität arbeiten, um eine gleichbleibende Prozesskontrolle zu gewährleisten.
• Chemische Beständigkeit: In Halbleiterfabriken wird eine Vielzahl von Prozessgasen und Chemikalien verwendet, die korrosiv oder reaktiv sein können. Vakuummessgeräte müssen mit diesen Substanzen kompatibel sein, um eine Verschlechterung oder Verunreinigung zu vermeiden.

Die Lösung von Endress+Hauser:

Im Vergleich zu herkömmlichen Technologien wie Pirani-Manometern oder piezoresistiven Sensoren bieten die kapazitiven keramischen Drucksensoren der Ceracore-Familie von Endress+Hauser:

• Außergewöhnliche Anpassungsfähigkeit an Umwelteinflüsse: Die kapazitiven Keramik-Drucksensoren von Endress+Hauser werden aus hochreiner (99,9 % Al2O3) Keramik hergestellt, die eine ausgezeichnete Korrosions- und Abrasionsfestigkeit aufweist. Dies ermöglicht auch in herausfordernden Umgebungsbedingen wie hohen Temperaturen, hohen Drücken oder im korrosiven Milieu eine zuverlässige Messung.
• Hohe Sensitivität: Durch die Verwendung spezieller keramischer Materialien und der kapazitiven Technologie können die Sensoren bereits sehr kleine physikalische Veränderungen erkennen und diese in präzise elektrische Signale umwandeln. Diese hohe Empfindlichkeit ermöglicht eine genaue Messung des Vakuumniveaus, selbst in Umgebungen mit niedrigem Druck. In Anwendungen mit Vakuummessgeräten, in denen präzise Druckmessungen von entscheidender Bedeutung sind, gewährleistet die hohe Empfindlichkeit der kapazitiven keramischen Drucksensoren, dass selbst kleinste Änderungen des Vakuumdrucks erkannt und überwacht werden können.
• Langzeitstabilität: Die Ceracore kapazitiven Drucksensoren weisen einen extrem geringen Nullpunktdrift auf, was bedeutet, dass sie über lange Zeiträume hinweg eine hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit beibehalten können, ohne dass eine häufige Neukalibrierung erforderlich ist. Diese Langzeitstabilität ist für Vakuummessgeräte von entscheidender Bedeutung, da sie konsistente und genaue Messungen über die gesamte Lebensdauer des Geräts gewährleistet. In industriellen Prozessen, die eine kontinuierliche Überwachung des Vakuumniveaus erfordern, trägt die Langzeitstabilität der keramisch-kapazitiven Drucksensoren beispielsweise dazu bei Messfehler zu minimieren und die Prozesskontrolle zu verbessern.

Endress+Hauser Sensors&Components entwickelt seit über drei Jahrzehnten kundenspezifische Sensoren und setzt dabei auf eine partnerschaftliche Zusammenarbeit mit dem Kunden. Ein interdisziplinäres Team aus Entwicklung, Produktmanagement und Vertrieb setzt die Anforderungen der Anwender bestmöglich um. Alle Informationen zum kapazitiven keramischen Druckportfolio finden Sie auf der entsprechenden Produktseite.