Präzises Positionieren für gestochen scharfe Bilder

In der Medizintechnik, Pharmazie und Forensik ist es die Bewegung der Mikroskoptische, in der Halbleiterindustrie die genaue Positionierung bei der Waferprüfung: Präzises Positionieren für gestochen scharfe Bilder – dafür steht die ITK Precisioning GmbH.

Seit über 40 Jahren entwickelt ITK hochdynamische, mechatronische 3D-Bewegungsplattformen für präzise Scanning-Anwendungen, immer mit dem Ziel, durch hochgenaues Positionieren Bilder mit höchstmöglicher Präzision und Effizienz zu ermöglichen. Insbesondere im Hinblick auf die weltweite Halbleiterknappheit, die im Jahr 2021 begann, kommt der schnellen Bildgebung mit hoher Genauigkeit bei der Wafer-Inspektion eine große Bedeutung zu. Denn in der Halbleiterfertigung ist die Ausbeute das A und O, da sie den Ausstoß und die Kosten bestimmt. Je früher Fehler auf dem Weg vom Wafer zur fertigen Leiterplatte identifiziert werden, um so besser. Die neuen Produktfamilien der SensePrecisioner und TargetPrecisioner von ITK können zu einer verbesserten Halbleiterinspektion in Bezug auf Effizienz, Leistung und Präzision beitragen.

Zur Produktfamilie der SensePrecisioner gehören die Gantry-Tische der Baureihe PT15 und FBS EcoGantry. Diese Systeme sind ausgelegt für die präzise Positionierung eines i.d.R. bildgebenden Messverfahren relativ zum prüfenden Objekt oder Werkstück. Da es bei den vorgesehenen Anwendungen, wie zum Beispiel in der Halbleiterindustrie bei der Waferprüfung oder bei der Materialprüfung, oft darum geht, winzige Beschädigungen, Risse etc. zu entdecken, ist das präzise mappen von Bildaufahme und Positionsinformation von entscheidender Bedeutung. Das PT15 Gantry-Positioniersysteme bietet die erforderliche Genauigkeit und kommt daher bei der Waferinspektion zum Einsatz. Durch einen schwingungsarmen Aufbau auf Hartgesteinsbasis, wird dafür Sorge getragen, dass man den hohen Anfoderungen an die Positioniergenauigkeit gerecht wird.

Das FBS EcoGantry-System ist das kostengünstige Einstiesgmodell in der 3D-Positionierwelt von ITK. Die in verschiedenen Grundausführungen verfügbaren Produkte der Baureihe FBS bieten eine leicht konfigurierbare und preiswerte Basis für dreidimensionale X-, Y- und Z-Bewegungsplattformen. Bei allen Produkten der SensePrecisioner-Familie hat sich der Einsatz von Linearmotoren in Kombination mit magnetischen Längenmesssystemen und der modernen Steuerung (ITK Andromeda oder Hydra) als ideale Lösung zum Erreichen der geforderten dynamischen Eigenschaften erwiesen. 

ITK ist Finalist bei den Hessen-Champions 2024

Die besonderen Eigenschaften und Vorteile der SensePrecisioner-Familie haben ITK zudem eine Nominierung unter den drei Finalisten der Hessen-Champions in der Kategorie „Innovation“ beschert.

Die neue Produktfamilie der TargetPrecisioner umfasst alle Positioniersysteme, bei denen eine Probe oder ein Werkstück relativ zum Sensor bewegt wird, wie zum Beispiel bei den Mikroskoptischen der Baureihe LMT, die vor allem in Bio-Life-Sciences Anwendungen eingesetzt werden. Sie sind mit diversen Features ausgestattet, die sie besonders bedienerfreundlich machen und eine zuverlässige Positionierung ermöglichen. Dazu zählen die einfache Parametereinstellung und die exakte Wiederholbarkeit der Verfahrmuster. Der Bediener hat die Wahl zwischen manuellem und automatischem Betrieb. Hohe Ortsgenauigkeit und Ortsauflösung bei der Bildgenerierung werden gewährleistet durch eine spezielle, extrem schnelle Triggerfunktion in der passend zum Mikroskoptisch entwickelten Steuerung. Die hohe Präzision wird erzeugt durch robuste Sensoren basierend auf dem magnetoresistiven (MR-) Effekt. Der hochdynamische Linearmotor mit einem neuartigen Design sorgt für die gewünschte Performance – geräuschlos, schnell und verschleißfrei.