Hochpräzise Druckmessung mit Druckmesszellen-Serie von Amsys

Amsys bietet ein breites Portfolio an Mikromechanischen Druckmesszellen auf Siliziumbasis (MEMS) an, die sich bereits millionenfach in der Belüftungstechnik (HVAC), der Medizintechnik sowie in der Automobilindustrie bewährt haben. Diese Technologie hat mechanische Messaufnehmer mit elastischen Membranen weitgehend ersetzt und ermöglicht eine hochpräzise Erfassung niedrigster Drücke.

Insbesondere niedrigste Differenzdrücke von unter 0,15 psi bis 1,5 psi (10 mbar - 100 mbar) können mit dem SM9520A gemessen werden. Durch eine innovative Mikrostrukturierung der Messzelle wurde ein biegesteifes Membranzentrum integriert, das eine verstärkte Durchbiegung in den Randbereichen der Membran ermöglicht. Eine zusätzliche Maskierung und Ätzung am Ende des Herstellungsprozesses sorgt für eine reliefartige Strukturierung der Membranrückseite und eine symmetrische Flächenverdickung. Dies steigert die Sensitivität des SM9520A auf bis zu 300 mV/psi bei einer außergewöhnlich hohen Linearität von ±0,1%.

Neben bereits gehäusten Sensoren bietet Amsys auch reine MEMS-Druckmesszellen an, die sich durch ihre kompakte Bauweise perfekt in Geräte mit hohen Stückzahlen integrieren lassen. Die Druckdies ermöglichen eine noch bessere Anpassung an den zur Verfügung stehenden Bauraum als herkömmliche SOIC-Sensoren.

Seit fast 30 Jahren vertreibt Amsys Druckmesszellen für alle Druckarten und -bereiche. Die Produktpalette umfasst Differenz-, Relativ- und Absolutdruckmesszellen, letztere auch für raue Einsatzbedingungen. Besonders hervorzuheben ist der SM97A, der als Nachfolger des SM98A für 150 und 300 psi (10 und 20 bar) entwickelt wurde.

Das Produktportfolio wird abgerundet durch die Differenzdruckdies SM30F (Nachfolger des SM30G) sowie den ultrakompakten Absolutdruckdie SM5108E, der in Varianten für 30, 60 und 100 psi (2, 4 und 7 bar) verfügbar ist. Damit bietet Amsys die ideale Lösung für Anwendungen mit höchsten Anforderungen an Präzision und Sensitivität.

Anwendungsgebiete

• Patienten-Monitore
• Blutdruck-Monitore
• Sauerstoffkonzentratoren
• Flüssigkeitsabsaugung
• Beatmungsgeräte
• Industrielle Steuerungen
• Kompressoren & Pumpen
• Druckschalter
• Haushaltsgeräte
• Pneumatische Messgeräte
• Handmessgeräte
• Barometrische Messung

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