Klassische Mikroskopie-Anwendungen oder Mehrachsbewegungssysteme mit hohen Anforderungen an Dynamik und Auflösung

ITK liefert entsprechende hochintegrierte mechatronische Positioniersysteme.

Nicht nur in der Labor-Mikroskopie, sondern auch in der Halbleiterindustrie bei der Wafer-Prüfung oder bei Applikationen zur Werkstoff-Diagnostik müssen Strukturen im Sub-µm-Bereich fein aufgelöst und glasklar abgebildet werden. Dazu bedarf es hochgenauer und dynamischer Positioniersysteme, um den vollautomatischen Prüf- und Laborbetrieb bestmöglich zu unterstützen.

In der Mikroskop-Technik sind neue Features und Produktverbesserungen essenziell für die Anwendungen von morgen. ITK präsentiert jetzt einen neuen Lineartisch der Baureihe LMT mit Andromeda i-Stage-Steuerung und vielen Vorteilen für alle User. Die neue Steuerungsplattform Andromeda bietet neben mehr Rechenleistung viele weitere Benefits.

Welche Vorteile bietet die neue Kombination und welche Möglichkeiten ergeben sich dadurch?

Dieser Frage gehen wir in diesem Artikel auf den Grund.

In der Mikroskopie gibt es zum Teil in sich konkurrierende Ziele. Auf der einen Seite wünscht man eine immer höhere Ortsauflösung bei den Tischbewegungen, um eine bessere Bildqualität bei automatischen Abläufen zu erzielen. Gleichzeitig gibt es einen stetigen Bedarf nach höherer Produktivität, was wiederum eine steigende Dynamik bei den Tischbewegungen erfordert. ITK hat jetzt mit der hier vorgestellten Lösung einen Weg gefunden, beide Ziele gleichzeitig zu erreichen. Um diese Quadratur des Kreises zu lösen, hat ITK eine Lösung mit folgenden Features entwickelt:

Mit der Andromeda i-Stage-Steuerung – etwas Gutes noch besser machen

Andromeda i-Stage ist eine in den Mikroskoptisch integrierte Lösung mit einer Reihe von Vorteilen, die die Forderung nach höherer Ortsauflösung und höheren Geschwindigkeiten ermöglicht.

Systemvorteile mit Andromeda i-Stage

• Hybridtrigger mit 20 kHz verfügbar
• Synchronisiertes Mehrachskonzept auf Grund des modularen Aufbaus der Steuerung
• Höhere Regler-Frequenz für bessere Performance
• Realisierung der Motorsollwertvorgabe mit 20 kHz
• Optimiertes Thermomanagement in der Applikation
• Umfangreiche Möglichkeiten kundenspezifischer Entwicklungen im Bereich Hard- und Software

Neueste Version der ITK Motion Manager Software

Für die schnelle Programmierung von automatisierten Abläufen verfügt die i-Stage-Steuerung über eine eigene Software mit einer hoch-performanten und intuitiven Bedieneroberfläche.

Antriebssystem

Die verwendeten verschleißfreien Linearmotoren unterstützen diese Anforderungen maßgeblich. Die im Antriebssystem verwendeten Linearmotoren wurden eigens von ITK entwickelt, da sie eine höhere Kraft entfalten bei reduzierten geometrischen Abmessungen gegenüber herkömmlichen eisenlosen Linearmotoren. So können Positionen mit einer Präzision von weniger als 0,5 µm erreicht werden. Der nur 30 mm hohe Mikroskoptisch bewegt sich mit Geschwindigkeiten von bis zu 1 m/s. Das alles passiert geräuschlos, schnell und verschleißfrei.

Integriertes Absolutmesssystem

Für die hohe Präzision und Dynamik sorgen die im Absolutmessystem integrierten robusten Sensoren basierend auf dem magnetoresistiven (MR-) Effekt. Genutzt werden dabei die spezifischen Vorteile der MR-Sensortechnologie wie z. B. Wartungsfreiheit, hohe Dynamik, Robustheit und Verschleißfreiheit. Darüber hinaus macht das Absolutmesssystem zeitraubende Referenzfahrten sowie Endschalter überflüssig. Die aktuelle Position ist jederzeit bekannt.

Extrem flacher Aufbau

Durch die Nutzung von Linearmotoren und geschickt integrierten Komponenten lässt die besonders niedrige Bauhöhe wertvollen Freiraum oberhalb und unterhalb des Mikroskoptisches. Die Gewichtsersparnis ist ein weiterer Vorteil, der sich aus der kompakten Bauweise ergibt.

Manuelles und automatisches Bewegen

Die Bedienung kann in manuellem und automatischem Betrieb zum schnellen Erreichen einer Position erfolgen, die dann im Automatik-Betrieb feinpositioniert wird. Durch Abschaltung (per Taster, Bild 2) des Linearmotors ist der Tisch frei manuell positionierbar und kann jederzeit wieder in den Automatikmodus zurückgeschaltet werden.

Ergonomische Bedienung

Eine ergonomische Bedienung wird durch die optional verfügbaren Joysticks, Handräder oder mehrachsige Multiwheels gewährleistet. Wiederkehrende Aufgaben können programmiert werden, um die Arbeitseffektivität zu erhöhen.

Exakte Triggerfunktion der Kamera

Die sehr schnelle Trigger-Funktion bietet eine hohe Ortsauflösung und Ortsgenauigkeit bei der Bildgenerierung. Die Kombination aus Korrekturtabellen und exaktem Positionstrigger liefert die Präzision für Ihre Bildgebung.

Individuelle Lösungen

Im Zusammenspiel der Disziplinen aus Software, Hardware und Mechanik entwickelt ITK das passende Produkt für Ihre Anwendung. Sprechen Sie uns an, oft gibt es eine breite Auswahl an spezifisch realisierten Produkten, auf denen die anfangs komplexesten Wünsche realisiert werden können.

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