Interferometrie

Hochpräzise Wafer-Dickenmessung

Hochpräzise Wafer-Dickenmessung

Das Weißlicht-Interferometer IMS5420-TH von Micro-Epsilon eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Dickenmessung von monokristallinen Siliziumwafern. Dank der breitbandigen Superlumineszenzdiode (SLED) kann das IMS5420-TH sowohl für undotierte, dotierte sowie für hochdotierte SI-Wafer eingesetzt werden. Der Dickenmessbereich erstreckt sich von 0,05 bis zu 1,05 mm. Die messbare Dicke von Luftspalten beträgt sogar bis zu 4 mm.

Bei der Produktion von Halbleiterwafern kommt es auf höchste Präzision an. Ein wichtiger Prozessschritt ist das Läppen der Siliziumrohlinge, die dabei auf eine einheitliche Dicke gebracht werden. Um die Dicke fortlaufend zu kontrollieren, wurden die Weißlichtinterferometer der Reihe interferoMETER IMS5420 entwickelt.

Diese bestehen jeweils aus einem kompakten Sensor und einem Controller, der in einem robusten industrietauglichen Gehäuse untergebracht ist. Eine im Controller integrierte aktive Temperaturregelung sorgt für eine hohe Stabilität der Messung.

Erhältlich ist das Interferometer entweder als Dicken- oder als Multipeak-Dickenmesssystem. Das Multipeak-Dickenmesssystem kann die Dicke von bis zu fünf Schichten messen, z.B. Waferdicke, Luftspalt, Folierung und Beschichtungen >50 µm. Für Dickenmessungen bei schwierigen Umweltbedingungen ist der Controller IMS5420IP67 mit IP67 und Edelstahlgehäuse sowie passenden Lichtleitern und Sensoren verfügbar.

Für Messaufgaben im Vakuum bietet Micro-Epsilon geeignete Sensoren, Kabel und Durchführungen an.

Teilen
Anzeige

Jobs4Automation

Ihre Stellenanzeige in der Jobbörse auf der SENSOR+TEST 2024

Ihre Stellenanzeige in der Jobbörse auf der SENSOR+TEST 2024

Wie gewohnt wird es wieder eine Jobbörse des Herausgebers von messweb.de auf der SENSOR+TEST 2024 geben. Buchen Sie bitte die Schaltung der Stellenanzeigen, um daran teilzunehmen.

mehr lesen

Messräder

Spektrum erweitert

Spektrum erweitert

Mit den neu entwickelten Messrädern und dem passenden Zubehör erweitert Posital das Spektrum der Möglichkeiten für präzise Linearmessungen.

mehr lesen

Füllstandmesstechnik

Digital mit übergeordneten Systemen kommunizieren

Digital mit übergeordneten Systemen kommunizieren

Neue Füllstandssonde DCL 532 mit i2C-Schnittstelle von BD Sensors.

mehr lesen
Anzeige

Temperaturmessung

Dx-BrakeTemp: Hochpräzise drahtlose Temperaturmessung für Fahrzeugräder

Dx-BrakeTemp: Hochpräzise drahtlose Temperaturmessung für Fahrzeugräder

Das schlüsselfertige Telemetrie-System Dx BrakeTemp erfasst Temperaturen direkt an der Bremsschreibe. Profitieren Sie von verlässlich präzisen Messergebnissen auch in rauen Umgebungen.

mehr lesen

Wegaufnehmer

Geschafft: 70 % mehr Messweg

Geschafft: 70 % mehr Messweg

Einige Wegaufnehmer von A.B.Jödden können jetzt bei gleicher Gehäusegröße viel mehr Weg messen.

mehr lesen

Baukasten

Zukunftsfähig, sicher und wasserstoffkompatibel

Zukunftsfähig, sicher und wasserstoffkompatibel

STW präsentiert einen umfassenden Sensorikbaukasten. Unter anderem stehen Sensoren zur Erfassung von Druck- und Medieninformationen im Fokus.

mehr lesen
Anzeige

SENSOR+TEST 2024

SENSOR+TEST 2024 mit starkem Messtechnik-Kongress

SENSOR+TEST 2024 mit starkem Messtechnik-Kongress

Volles Programm auf der 22. GMA/ITG Fachtagung Sensoren und Messsysteme in Nürnberg: rund 120 Vorträge und Poster erwarten die Teilnehmer am 11. und 12. Juni 2024. Die günstige Anmeldung für Frühbucher ist noch bis zum 30. April 2024 möglich.

mehr lesen

Drehgeber

Präzision auf höchstem Niveau

Präzision auf höchstem Niveau

TWK präsentiert den SIL2 CANopen Safety Drehgeber ABN.

mehr lesen

drivesweb-Newsletter

Der neue drivesweb-Newsletter Nr. 67 ist da

Der neue drivesweb-Newsletter Nr. 67 ist da

Erfahren Sie u.a. mehr über Frequenzumrichter mit wegweisender Technologie, einen hochauflösenden und somt präzisen Geber oder ein komplett innoviertes Servosystem.

mehr lesen